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橢圓偏光儀,橢偏在線監(jiān)測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機發(fā)光薄膜、有機/無機封裝薄膜等質(zhì)量控制需要，專門設(shè)計的在線薄膜測量系統(tǒng)?？蛇m用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動實現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全片快速掃描測量。

紅外橢偏儀,SE-i光譜橢偏儀針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，橢偏測量頭快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析

穆勒矩陣光譜橢偏儀,橢偏檢測機臺通過整體高度集成技術(shù)，實現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。

SE-PV系列是針對光伏電池片特性專門設(shè)計的全光譜橢偏儀，基于旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制技術(shù)，一次性獲取Psi/Delta、N/C/S等偏振信號，能實現(xiàn)光伏行業(yè)中絨面和非絨面樣品的薄膜膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速表征。